S3030F高壓型高精度源表SMU
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產(chǎn)品名稱: S3030F高壓型高精度源表SMU
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: 蘇州聯(lián)訊
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簡單介紹
S3030F高壓型高精度源表SMU
聯(lián)訊儀器S3030F是結(jié)構(gòu)緊湊、經(jīng)濟高效的單通道高電壓、高功率電源/測量單元，能夠同時輸出和測量電壓和電流， 能夠提供*大±3500V、±120mA（直流）、10 GΩ、180W功率輸出，能廣泛地應(yīng)用在功率半導(dǎo)體特性，GaN、SiC表征，復(fù)合材料，高壓漏電流等測試和研究領(lǐng)域。S3030F支持傳統(tǒng)的SMU SCPI命令，讓測試代碼的遷移變得輕松快捷， 可支持多機同步，集成到生產(chǎn)測試系統(tǒng)中使用，以提高系統(tǒng)的測試效率并降低成本。
S3030F高壓型高精度源表SMU
的詳細(xì)介紹
S3030F高壓型高精度源表SMU
聯(lián)訊儀器S3030F是結(jié)構(gòu)緊湊、經(jīng)濟高效的單通道高電壓、高功率電源/測量單元，能夠同時輸出和測量電壓和電流， 能夠提供*大±3500V、±120mA（直流）、10 GΩ、180W功率輸出，能廣泛地應(yīng)用在功率半導(dǎo)體特性，GaN、SiC表征，復(fù)合材料，高壓漏電流等測試和研究領(lǐng)域。S3030F支持傳統(tǒng)的SMU SCPI命令，讓測試代碼的遷移變得輕松快捷， 可支持多機同步，集成到生產(chǎn)測試系統(tǒng)中使用，以提高系統(tǒng)的測試效率并降低成本。
S3030F高壓型高精度源表SMU電壓源指標(biāo)：
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電壓設(shè)置精度
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量程
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設(shè)置分辨率
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精度(1年)
±(%讀數(shù)+ 偏置)
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典型噪聲(有效值)
0.1 Hz-10Hz
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±3500 V
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40 mV
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0.02%+600 mV
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50 mV
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±2500 V
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30 mV
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0.02%+450 mV
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40 mV
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±1500 V
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20 mV
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0.02%+300 mV
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25 mV
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±600 V
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7mV
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0.02%+120 mV
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10 mV
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±200 V
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3mV
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0.02%+40 mV
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3 mV
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溫度系數(shù)
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±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
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設(shè)置時間
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<5 mS (典型值)
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過沖
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<±1% (典型值，Normal,步進是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負(fù)載測試)
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噪聲10Hz-20MHz
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1500V電壓源，120 mA電阻負(fù)載，<200mV RMS
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S3030F高壓型高精度源表SMU電流源指標(biāo)：
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電流設(shè)置精度
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量程
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設(shè)置分辨率
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精度(1年)
±(% 讀數(shù)+偏置)
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典型噪聲(有效值)0.1Hz-10Hz
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±120 mA1
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3 uA
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0.02% + 35 μA
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120 uA
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±20 mA
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400 nA
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0.02% + 15 μA
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20 uA
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±10 mA
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200 nA
|
0.02% + 3 uA
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10 uA
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±1 mA
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20 nA
|
0.02% + 300 nA
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1 uA
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±100 μA
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2 nA
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0.02% + 30 nA
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100 nA
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±10 μA
|
200 pA
|
0.03% + 5 nA
|
10 nA
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±1 μA
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20 pA
|
0.03% + 1 nA
|
1 nA
|
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±100 nA
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2 pA
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0.2% +100 pA+Vo x 100 fA
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100 pA
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±10 nA
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200 fA
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0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA
|
10 pA
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±1 nA
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20 fA
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0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA
|
1 pA
|
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溫度系數(shù)
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±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
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設(shè)置時間
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<10 ms (典型值)
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過沖
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<±1% (典型值，Normal,步進是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負(fù)載測試)
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1，120mA量程僅支持1500V及以下電壓量程
S3030F高壓型高精度源表SMU電壓表指標(biāo)：
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電壓測量精度
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量程
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顯示分辨率
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精度(1年)±(%讀數(shù)+偏置)
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±3500 V
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1 mV
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0.02%+600 mV
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±2500 V
|
1mV
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0.02%+450 mV
|
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±1500 V
|
1 mV
|
0.02%+300 mV
|
|
±600 V
|
100 uV
|
0.02%+120 mV
|
|
±200 V
|
100 uV
|
0.02%+40 mV
|
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溫度系數(shù)
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±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
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S3030F高壓型高精度源表SMU電流表指標(biāo)：
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電流測量精度
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量程
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顯示分辨率
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精度(1年) ±(% 讀數(shù)+偏置)
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±120 mA1
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100 nA
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0.02% + 35 μA
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±20 mA
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10 nA
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0.02% + 15 μA
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±10 mA
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10 nA
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0.02% + 3 uA
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±1 mA
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1 nA
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0.02% + 300 nA
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±100 μA
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100 pA
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0.02% + 30 nA
|
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±10 μA
|
10 pA
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0.03% + 5 nA
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±1 μA
|
1 pA
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0.03% + 1 nA
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±100 nA
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100 fA
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0.2% +100 pA+Vo x 100 fA
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±10 nA
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10 fA
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0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA
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±1 nA
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1 fA
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0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA
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溫度系數(shù)
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±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
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1，120mA量程僅支持1500V及以下電壓量程
S3030F高壓型高精度源表SMU電阻表指標(biāo)(4線)
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電阻測量精度
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量程
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顯示分辨率
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默認(rèn)測量電流
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典型精度(1年)
±(%讀數(shù)+偏置)
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100 Ω
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100 μΩ
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100 mA
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0.075% + 400 mΩ
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1 kΩ
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1 mΩ
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10 mA
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0.07% + 4 Ω
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10 kΩ
|
10 mΩ
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1 mA
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0.07% + 40 Ω
|
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100 kΩ
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100 mΩ
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100 μA
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0.07% + 400 Ω
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1 MΩ
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1 Ω
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10 μA
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0.10% + 4 kΩ
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10 MΩ
|
10 Ω
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1 μA
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0.15% + 40 kΩ
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100 MΩ
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100 Ω
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100 nA
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0.32% + 400 kΩ
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1 GΩ
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1 KΩ
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10 nA
|
0.32% + 4 MΩ
|
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10 GΩ
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10 KΩ
|
1 nA
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0.72% + 40 MΩ
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溫度系數(shù)
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±(0.15 × 精度指標(biāo))/℃ (0℃-18℃，28℃-50℃)
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手動電流源電阻測量
(四線)
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總體誤差=測量電壓/電流源設(shè)定電流=電阻讀數(shù)x(電壓源量程的增益誤差百分比+電流表量程的增益誤差百分比+電流源量程偏置誤差/設(shè)定電流)+(電壓源量程偏置誤差/設(shè)定電流值)
示例：電流源設(shè)定電流=10mA 電壓測量量程=200V
總體誤差=(0.02%+0.02%+3μA/10mA)+(40mV/10mA)
≈0.07%+4Ω
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注：測量電壓=默認(rèn)測量電流*被測電阻值≤10.5V
